1.Все валы приводятся в движение непосредственно линейными двигателями и моментными двигателями;
2.Он состоит из комбинации стандартной крестообразной платформы и двигателя DDR с полностью защитной конструкцией;
3.Независимые исследования и разработки высокопроизводительного сервопривода с прямым приводом шины серии HANS;
4.Подходит для абсолютно круглой решетки и инкрементной линейной решетки;
5.Точность повторного позиционирования может достигать ±1 мкм;
6.Высокая скорость, высокая точность, не требует технического обслуживания.