1. Он используется для маркировки идентификаторов полупроводниковых пластин и совместим с 6- и 8-дюймовыми пластинчатыми изделиями;
2. Он подходит для обычных пластинчатых материалов, таких как Si / GaAs / SiC;
3. Полностью автоматическая работа, оснащен фильтрующим модулем FFU;
4. Оснащен двухрычажным манипулятором, дополнительным модулем подачи SMIF;
5. Соответствует стандарту SEMI и поддерживает протокол связи SECS / GEM.